中國臺灣漢鐘iPM600螺桿泵維修

IPM半導體中度嚴苛系列 型號有iPM100,iPM600
用途：Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant
特點：綠色制造、全新系列干式真空泵
      體積小、耗功低、大幅度降低成本
      用于中度嚴苛制程的節能泵

漢鐘PD變距系列干式螺桿真空泵主要特點：
漢鐘螺桿真空泵排氣路徑短，減少反應物沉積
hanbell干式螺桿真空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵內的傳輸路徑最短，最不易產生反應物沉積的現象。
漢鐘螺桿真空泵線形密封性佳，泵浦性能佳
Hanbell干式螺桿真空泵，*轉子密封線形，轉子密封性佳，轉子能以較大的嚙合間隙達到更快的抽氣效果，由于漢鐘真空泵的嚙合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉子也較不易因磨耗而需更換。
漢鐘螺桿真空泵結構簡單，故障率低，維護容易
Hanbell干式螺桿真空泵因只需要利用一對轉子相互嚙合達到密封效果，結構上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設計，降低轉子與隔板沉積卡死的風險。且因其結構單純，拆卸維修也比較容易，因此能縮短維修時程，降低維修費用。
漢鐘螺桿真空泵微電腦操作，遠端監控，保護周全
Hanbell干式螺桿泵微電腦控制器提供真空最簡易的操作方式并能顯示真空泵完整的運轉狀態，方便使用者對泵應用狀態進行調整，在真空泵產生問題前進行預防保養。遠端監控系統能夠提供使用者方便的監控工具，使用者不需到現場就能夠了解真空泵的運行狀態。
 
漢鐘螺桿真空泵典型應用：
面板TFT-LCD, Touch Panel
太陽能Solar
冶金系統Metallurgical System
鍍膜Coating
電漿制程Plasma processes
干燥處理Drying Process
制程氣體抽取Degassing
生技/制藥Biotech/Pharmaceutical
化工產業Chemical Industry
鋰電池Battery

PA油螺桿真空泵型號PA350VSD+,PA585VSD+,PA730VSD+,PA900VSD+,PA1300VSD+,PA1600VSD+,PA1900VSD+
PA VSD+系列真空泵是一款節能，環保的永磁變頻微油螺桿真空泵。

高效能

得益于變頻驅動控制，PA VSD+可提供所需的流量而不會過量，避免浪費能源。新型的螺桿型線設計，性能提升。采用IE4高效永磁電機直接驅動，的降低功耗。

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